단결정 성장용 초전도 마그넷은 실리콘 단결정 (mono-Si)의 품질 향상을 위해 반도체 산업에서 사용되고 있습니다. 실리콘 단결정은 집적회로(IC) 생산에 사용되는 기초 재료 입니다.
대구경 원형 잉곳이나 실리콘 단결정 보울을 성장시키는 동안 강한 자기장을 적용하여 불순물 혼합을 줄임으로써 실리콘 단결정의 품질을 향상시킵니다.
테슬라 엔지니어링은 쵸크랄스키 공법(MCZ)을 사용하는 실리콘 단결정 성장용 차세대 초전도 마그넷을 개발하여 공급하게 되었습니다.
- 200 - 450mm 구경의 단결정 성장용 마그넷
- 4000G까지 자기장 세기를 가진 CUSP 및 횡자속
- 무냉매
- 냉동기 서비스 다운타임 1일 이내
- 고객의 성장 장치와 인터페이스되는 컨트롤 유니트 제공
- 설치, 시운전 및 서비스 제공
- 냉동기 2대로 운영되는 고효율의 극저온 설계