超导晶体生长磁体用于半导体工业,以提高单晶硅(mono-Si)的质量。单晶硅是用于集成电路生产的基本材料。
在较大直径的圆柱形锭块或单晶硅晶锭的生长期间施加强磁场减少了污染物的掺入,从而改善了所得硅晶体的质量。
特斯拉工程有限公司已经研发和制造了下一代超导晶体生长磁体产品组合,用于使用Czochralski 方法 (MCZ)来生长制造单晶硅。
- 为生长直径为200-450mm晶体的磁体
- CUSP或者TRANSVERSE场强高达4000高斯
- 无制冷剂
- 冷头服务停机时间小于1天
- 所有提供的磁体都配套控制单元,可与客户拉拔器连接。
- 提供安装、调试和服务
- 高效的低温设计,仅使用2个制冷器来运行。
