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Tesla Engineering Ltd Magnet Division

磁場の最先端を目指して

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Tesla Engineering Superconducting Cyclotron Magnet
Tesla Engineering Ltd ISO 9001 ISO 14001 logo

単結晶引上げ用超伝導磁石は、単結晶シリコンの品質向上を目的として半導体産業において常用されています。単結晶シリコンは集積回路製造に欠かせない基礎材料です。


単結晶シリコンのインゴットや原石を成長させる過程において、強力な磁場をそれに印加すると、不純物の混入を抑制する事が出来、従って、シリコン結晶の品質を改善する事が出来ます。


テスラはこれまでにMCZ法を使用した単結晶シリコン引上げ用として、一連の次世代超伝導磁石を開発してまいりました。

  • 直径200~450mmの単結晶インゴット成長用の磁石。
  • CUSPやTRANSVERSEに対応した最大4000ガウスの磁場強度。
  • 冷媒フリー。

  • <一日以内のコールドヘッド交換。
  • 全磁石に、顧客引上げ装置に対応した磁石制御ユニットを提供。
  • 磁石の搬入、現地での試運転、及びメンテナンス。
  • 2台のクライオクーラーで冷却可能な高効率な冷却装置のデザイン。

単結晶成長用磁石

シリコン単結晶引き上げ用の次世代超伝導磁石